Nederlands
Menu

Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Welke uitspraak over de omgang met organometaalverbindingen zoals trimethylgallium (TMGa), de grondstoffen van MOCVD, is juist?

  1. AZe zijn niet giftig en niet reactief en veilig te hanteren
  2. BZe zenden sterke straling uit
  3. CZe reageren hevig met lucht en water en kunnen spontaan ontbranden
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Ze reageren hevig met lucht en water en kunnen spontaan ontbranden

Organometaalverbindingen zoals trimethylgallium en trimethylaluminium ontbranden spontaan in lucht en reageren ook hevig met water. Ze worden in een bubbler, een container op constante temperatuur, geplaatst en de damp wordt met waterstof of stikstof meegevoerd. Omdat de dampspanning door de temperatuur wordt bepaald, wordt de toevoer geregeld met de temperatuur van de container en de gasstroom. Ze zenden geen straling uit en zijn niet veilig te hanteren. Ze worden gebruikt bij MOCVD van GaN en GaAs.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Wat is de juiste zuiverheid wanneer de zuiverheid van een gas wordt uitgedrukt als “6N”?
  2. Welk gas, dat in een halfgeleiderfabriek in een van de grootste hoeveelheden wordt gebruikt, wordt via leidingen geleverd als spoel- en atmosfeergas?
  3. Welke laag wordt bij ArF-immersiebelichting boven op de fotoresist aangebracht om te voorkomen dat het immersiewater en de resist rechtstreeks in contact komen?
  4. Welk materiaal is een typisch voorbeeld van een low-k-tussenlaagdiëlektricum?
  5. Welk materiaal met hoge zuiverheid en uitstekende hittebestendigheid wordt veel gebruikt voor reactiebuizen van ovens en voor hulpmiddelen waarop wafers worden geplaatst?