Welke eenheden worden vaak gebruikt om de onzuiverheidsconcentratie van hoogzuivere gassen en chemicaliën voor halfgeleiders uit te drukken?

Antwoord: A. ppb (miljardste) en ppt (biljoenste)

Bij halfgeleidermaterialen worden metaalonzuiverheden e.d. beheerd in ppb (10⁻⁹) en ppt (10⁻¹²). Omdat metaalverontreiniging op het waferoppervlak van ca. 10¹⁰ atomen/cm² al een probleem is, moeten ook de onzuiverheden in chemicaliën en gassen navenant laag zijn. % is een eenheid van een honderdste en te grof om onzuiverheden in halfgeleidermaterialen weer te geven. Kg is een massa-eenheid en geeft geen concentratie weer.