Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Welke uitspraak over de kenmerken van fosfine (PH3) en arsine (AsH3), die worden gebruikt voor het inbrengen van n-type onzuiverheden, is juist?

  1. AZe zijn onschadelijk en vereisen geen speciaal beheer
  2. BZe zijn zeer giftig en vereisen streng lekbeheer
  3. CZe zijn onbrandbaar en reukloos en veilig om in de lucht uit te laten
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Ze zijn zeer giftig en vereisen streng lekbeheer

Fosfine en arsine zijn zo giftig dat een toelaatbare concentratie van 0,05 ppm of lager geldt. Ze worden streng beheerd met een combinatie van gascilinderkasten, lekdetectoren, noodafsluiters en afgasreinigers. Ook worden veel containers gebruikt waarin het gas aan een poreus adsorptiemateriaal is geadsorbeerd en bij een druk lager dan de atmosferische druk wordt geleverd, zodat het bij lekkage moeilijk naar buiten komt. Het zijn geen onbrandbare, onschadelijke gassen; fosfine is bovendien brandbaar.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Wat is het belangrijkste gebruik van stikstoftrifluoride (NF3)?
  2. Welke eenheden worden vaak gebruikt om de onzuiverheidsconcentratie van hoogzuivere gassen en chemicaliën voor halfgeleiders uit te drukken?
  3. Welk materiaal wordt gewoonlijk gebruikt voor het polijstkussen bij CMP?
  4. Welk bronmateriaal is juist voor het inbrengen van p-type onzuiverheden (boor)?
  5. Welk apparaat wordt in leidingen geplaatst om sporen onzuiverheden en deeltjes te verwijderen uit gas vlak voordat het aan de apparatuur wordt geleverd?