Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Welke waarde is het meest geschikt als richtwaarde voor de zuiverheid die van polykristallijn silicium (polysilicium) als grondstof voor halfgeleiders wordt gevraagd?
- Aca. 99 %
- Bca. 99,99 %
- Cca. 99,999999999 % (11N)
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. ca. 99,999999999 % (11N)
Voor polykristallijn silicium voor halfgeleiders is een zuiverheid van de klasse eleven nine (11N) vereist, met elf negens, waarbij de onzuiverheden in totaal slechts ca. 0,01 ppb bedragen. Zelfs zeer kleine hoeveelheden metaalonzuiverheden verkorten de levensduur van ladingdragers en vergroten de lekstroom. De grondstof wordt gemaakt met het Siemens-proces, waarbij trichloorsilaan met waterstof wordt gereduceerd en afgezet. Voor zonnecellen volstaat ca. 6N tot 9N, maar 99 % of 99,99 % is voor halfgeleiders volstrekt onvoldoende.
Verder: nog 9 vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)