Nederlands
Menu

Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Wat is de juiste reden dat in leidingen voor halogeengassen zoals waterstofchloride het water in het gas bijzonder streng wordt beheerd?

  1. AOmdat het gas lichter wordt als er water in zit
  2. BOmdat het met water een corrosieve vloeistof wordt zoals zoutzuur, die roestvast stalen leidingen aantast en metaalverontreiniging veroorzaakt
  3. COmdat de kleur van het gas verandert als er water in zit
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Omdat het met water een corrosieve vloeistof wordt zoals zoutzuur, die roestvast stalen leidingen aantast en metaalverontreiniging veroorzaakt

Droog waterstofchloride tast roestvast staal vrijwel niet aan, maar met water erbij wordt het net als zoutzuur sterk corrosief. Wanneer het binnenoppervlak van de leiding corrodeert, mengen metalen zoals ijzer, chroom en nikkel zich met het gas en verontreinigen de wafer, en corrosieproducten worden ook deeltjes. Daarom worden leidingen voor halogeengassen vóór gebruik goed gedroogd en wordt water tot op ppb-niveau beperkt. Een verandering van gewicht of kleur is geen probleem.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Wat is het belangrijkste gevaar bij het hanteren van silaan (SiH4), dat onder meer als grondstof voor CVD wordt gebruikt?
  2. Welke waarde is het meest geschikt als richtwaarde voor de zuiverheid die van polykristallijn silicium (polysilicium) als grondstof voor halfgeleiders wordt gevraagd?
  3. Welke gebruikelijke maatstaf wordt gebruikt voor de zuiverheidsbewaking van ultrazuiver water in de halfgeleiderproductie?
  4. Welk gas wordt hoofdzakelijk gebruikt voor het droog etsen van siliciumoxide (SiO2)?
  5. Welke uitspraak over het target dat bij sputteren wordt gebruikt is juist?