MOSFET
Wat is het doel van de LDD-structuur (Lightly Doped Drain) van een MOSFET?
- ADe weerstand van de gate-elektrode verlagen
- BDe onzuiverheidsconcentratie aan de drainkant verlagen om het elektrische veld te verzwakken en degradatie door hot carriers te onderdrukken
- CDe mobiliteit van het kanaal verdubbelen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. De onzuiverheidsconcentratie aan de drainkant verlagen om het elektrische veld te verzwakken en degradatie door hot carriers te onderdrukken
Nabij de drain is het elektrische veld sterk, en hot carriers met hoge energie worden in de gate-isolator geïnjecteerd of creëren grensvlaktoestanden, wat verschuiving van de drempelspanning en vermindering van de stroom veroorzaakt. Bij de LDD-structuur wordt met de gatezijwand (spacer) aan de kanaalzijde van de drain een lichtgedoteerd ondiep gebied gemaakt, waardoor het piekveld daalt en de degradatie wordt onderdrukt. Tegenwoordig is de extensie (ondiepe overgang met hoge concentratie), die ook korte-kanaaleffecten onderdrukt, gangbaar.