MOSFET
關於MOSFET的LDD(Lightly Doped Drain,輕摻雜汲極)結構的目的,下列何者正確?
- A降低閘極電極的電阻
- B降低汲極端的雜質濃度以緩和電場,抑制熱載子造成的劣化
- C使通道遷移率加倍
查看答案與解析
正確答案:B. 降低汲極端的雜質濃度以緩和電場,抑制熱載子造成的劣化
在汲極附近電場很強,具有高能量的熱載子會被注入閘極絕緣膜或產生界面態,造成臨界電壓變動與電流下降。LDD結構利用閘極側壁(間隔物),在汲極的通道側形成低濃度的淺區域,降低峰值電場以抑制劣化。現在主流是同時兼具抑制短通道效應的延伸區(高濃度淺接面)。