Wat is LDD-structuur?

Afkorting van Lightly Doped Drain. Structuur waarbij alleen het gate-zijdige uiteinde van de drain een lagere doteringsconcentratie heeft, om het elektrische veld te verzwakken en degradatie door hot carriers te onderdrukken.

Japanse benaming: LDD構造

“LDD-structuur” komt voor in 2 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. MOSFET, Betrouwbaarheid.

Vakgebied: MOSFET

Nu oefenen: vragen over LDD-structuur

Wat is het doel van de LDD-structuur (Lightly Doped Drain) van een MOSFET?

  1. ADe weerstand van de gate-elektrode verlagen
  2. BDe onzuiverheidsconcentratie aan de drainkant verlagen om het elektrische veld te verzwakken en degradatie door hot carriers te onderdrukken
  3. CDe mobiliteit van het kanaal verdubbelen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. De onzuiverheidsconcentratie aan de drainkant verlagen om het elektrische veld te verzwakken en degradatie door hot carriers te onderdrukken

Nabij de drain is het elektrische veld sterk, en hot carriers met hoge energie worden in de gate-isolator geïnjecteerd of creëren grensvlaktoestanden, wat verschuiving van de drempelspanning en vermindering van de stroom veroorzaakt. Bij de LDD-structuur wordt met de gatezijwand (spacer) aan de kanaalzijde van de drain een lichtgedoteerd ondiep gebied gemaakt, waardoor het piekveld daalt en de degradatie wordt onderdrukt. Tegenwoordig is de extensie (ondiepe overgang met hoge concentratie), die ook korte-kanaaleffecten onderdrukt, gangbaar.

“LDD-structuur” in de toelichting

Vragen met “LDD-structuur” (2)

  1. Wat is het doel van de LDD-structuur (Lightly Doped Drain) van een MOSFET?
  2. Welk verschijnsel is het, waarbij ladingdragers die door het sterke veld nabij de drain zijn versneld in de gate-isolator worden geïnjecteerd en de eigenschappen van de transistor verslechteren?

Verwante termen

Grensvlaktoestanden (interface traps) Drempelspanning (threshold voltage) NBTI Latch-up CMOS DIBL Doorschietstroom (shoot-through-stroom) Flatbandspanning GIDL (gate-induced drain leakage) Inversielaag

Naar de woordenlijst