Welk apparaat tast het monsteroppervlak af met een dunne naald en meet uit de op- en neerwaartse beweging van de naald de staphoogte en de oppervlaktevorm?

Antwoord: B. Naaldprofielmeter (stylus profiler)

Een naaldprofielmeter tast met een dunne naald het oppervlak met een constante zwakke kracht af en meet uit de verticale verplaatsing van de naald de staphoogte en de golving van het oppervlak. Hij wordt gebruikt voor het controleren van etsdiepte, filmstappen en de vlakheid over een groot gebied na CMP. Het oplossend vermogen is grover dan bij AFM, maar kenmerkend is dat lange afstanden van millimeters kunnen worden gescand. Een massaspectrometer meet componenten en een ellipsometer de laagdikte.