Metrologie en analyse
Welke eigenschap van de donkerveldmethode, die alleen verstrooid licht opvangt, is juist in vergelijking met de lichtveldmethode die het patroonbeeld rechtstreeks bekijkt, bij defectinspectieapparatuur voor wafers?
- AVerstrooid licht van deeltjes enz. kan met hoge gevoeligheid worden gedetecteerd en een groot gebied kan gemakkelijk snel worden geïnspecteerd
- BHeeft altijd een hoger oplossend vermogen dan lichtveld
- CKan geen deeltjes detecteren
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Verstrooid licht van deeltjes enz. kan met hoge gevoeligheid worden gedetecteerd en een groot gebied kan gemakkelijk snel worden geïnspecteerd
De donkerveldmethode ontvangt niet het spiegelend gereflecteerde licht, maar alleen het licht dat door deeltjes en defecten is verstrooid; de achtergrond is donker en kleine deeltjes lichten helder op, zodat een groot gebied snel kan worden geïnspecteerd. De lichtveldmethode neemt het patroonbeeld rechtstreeks met gereflecteerd licht waar en is uitstekend in het detecteren van defecten in de patroonvorm, maar de inspectie is trager. Daarom wordt donkerveld gebruikt voor het bewaken van deeltjes en lichtveld voor de gedetailleerde evaluatie van nieuwe processen.