Hoe heet de methode waarbij laagdikte of afmetingen van niet gemeten wafers met een statistisch model worden voorspeld uit onder meer sensorgegevens van de apparatuur?

Antwoord: C. Virtuele metrologie

Virtuele metrologie is een methode waarbij het verband tussen sensorgegevens zoals temperatuur, druk en vermogen van de apparatuur tijdens het proces en eerdere meetresultaten met onder meer machine learning wordt gemodelleerd om het resultaat van niet gemeten wafers te voorspellen. Omdat de toestand van het proces kan worden geschat zonder alles te meten, helpt ze bij vroege detectie van afwijkingen en bij regeling waarbij de condities per wafer worden gecorrigeerd. Omdat het model afwijkt wanneer de toestand van het apparaat verandert, wordt het periodiek met echte metingen gecontroleerd.