Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Wat veroorzaakt gemakkelijk meetfouten wanneer met AFM de vorm van zeer smalle grachten of steile zijwanden wordt gemeten?

  1. AAFM kan alleen in vacuüm worden gebruikt
  2. BDe punt van de naald heeft een eindige dikte en vorm, zodat de vorm van de naald zich op de gemeten vorm afbeeldt
  3. CAFM kan geen oppervlaktereliëf meten
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. De punt van de naald heeft een eindige dikte en vorm, zodat de vorm van de naald zich op de gemeten vorm afbeeldt

Omdat AFM de vorm meet door het oppervlak met een naald af te tasten, bereikt de naald de bodem van grachten die smaller zijn dan de naaldpunt niet, en raakt bij steile zijwanden eerst de zijkant van de naald. Het gevolg is dat de gemeten vorm een convolutie is van de werkelijke vorm en de naaldvorm: grachten lijken ondieper en smaller en lijnen breder. Er worden naalden met een fijne punt of naalden voor zijwandmeting met een zijdelings verbrede punt gebruikt, en er wordt ook geanalyseerd door de naaldvorm te schatten en te corrigeren.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke methode onderzoekt in een TEM, terwijl een fijne elektronenbundel scant, de verdeling van elementen en chemische toestanden door het energieverlies van getransmitteerde elektronen te meten?
  2. Welke analysemethode laat atomen één voor één door een elektrisch veld van de punt van een naaldvormig monster verdampen, detecteert hun positie en soort, en onderzoekt zo de driedimensionale atoomverdeling van onder meer dopanten?
  3. Welke methode beoordeelt de elektrische eigenschappen van oxidefilms en grensvlakken door zonder elektroden lading met een coronaontlading op het waferoppervlak aan te brengen en de verandering van de oppervlaktepotentiaal te meten?
  4. Welke methode detecteert de kleine warmteontwikkeling van een werkende chip met hoge gevoeligheid door het toegevoerde vermogen periodiek te variëren en gesynchroniseerde warmtebeelden op te tellen, en lokaliseert zo de foutplek?
  5. Welke methode stuurt snelle pulsen door de bedrading van een behuizing of substraat en bepaalt uit de gereflecteerde golfvorm de plaats van een onderbreking of kortsluiting?

Vergelijkingen bij dit onderwerp