Welke methode meet, om de kwaliteit van wafers en epilagen van samengestelde halfgeleiders contactloos te beoordelen, het spectrum en de intensiteitsverdeling van het licht dat na laserbestraling wordt uitgezonden?

Antwoord: B. Fotoluminescentie (PL)-meting

Bij fotoluminescentie worden met laserlicht met een energie groter dan de bandkloof ladingdragers opgewekt en wordt het licht gemeten dat bij hun recombinatie vrijkomt. Uit de golflengte van de emissie volgen samenstelling en bandkloof, en uit de intensiteitsverdeling defecten en inhomogeniteit, zodat de methode veel wordt gebruikt voor het beoordelen van epilagen voor LED's en lasers. Elektroden zijn niet nodig en een verdelingskaart van de hele wafer is mogelijk. Als het monster wordt gekoeld, kan de emissie die van defecten afkomstig is gedetailleerd worden onderscheiden.