Metrologie en analyse
Wat is de belangrijkste reden dat bij metrologie in de productielijn vaak een deel wordt gemeten in plaats van alle wafers en alle punten?
- AOmdat het product bij alles meten kapotgaat
- BOmdat een meetapparaat maar één keer per dag kan worden gebruikt
- COmdat meten ook tijd en kosten vergt, en er daarom steekproefsgewijs wordt gemeten binnen het bereik waarin de procesvariatie kan worden vastgesteld
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Omdat meten ook tijd en kosten vergt, en er daarom steekproefsgewijs wordt gemeten binnen het bereik waarin de procesvariatie kan worden vastgesteld
Meten kost apparaattijd en geld; als alle punten van alle wafers worden gemeten, vertraagt de productiestroom en is een groot aantal meetapparaten nodig. Daarom wordt gemeten volgens een steekproefplan waarin, afgestemd op de aard van de procesvariatie, is vastgelegd hoeveel wafers per lot en hoeveel punten per wafer worden gemeten. Bij een stabiel proces wordt minder gemeten, bij een kritiek proces of tekenen van afwijkingen meer.