Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Wat is het belangrijkste doel van meten en inspecteren halverwege het proces in een productielijn?

  1. AHet proces altijd vertragen
  2. BAfwijkingen in het proces vroeg vinden en het proces stoppen, zodat niet voortdurend veel defecte producten worden gemaakt
  3. CHet gewicht van het product verhogen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Afwijkingen in het proces vroeg vinden en het proces stoppen, zodat niet voortdurend veel defecte producten worden gemaakt

Een geavanceerde LSI doorloopt meer dan 1000 processtappen en het duurt enkele maanden voordat deze klaar is. Als een probleem pas na voltooiing wordt opgemerkt, zijn de in de tussentijd verwerkte grote aantallen wafers defect geworden. Door tijdens het proces te meten en te inspecteren, afwijkingen vroeg te vinden, het veroorzakende apparaat of proces stop te zetten en de condities te corrigeren, blijft het verlies beperkt. Het is ook nuttig voor regeling waarbij meetresultaten worden gebruikt om de condities voor de volgende wafers bij te stellen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Wat is de belangrijkste reden dat bij metrologie in de productielijn vaak een deel wordt gemeten in plaats van alle wafers en alle punten?
  2. Welke uitspraak over de methode waarbij de wafer wordt gebroken of afgeschraapt en daarna bekeken, om de vorm van de doorsnede nauwkeurig te onderzoeken, is juist?
  3. Welke combinatie van termen is juist voor de prestaties van een meetinstrument: 'bij herhaald meten van hetzelfde is de spreiding van de waarden klein' en 'de gemeten waarde ligt dicht bij de ware waarde'?
  4. Welke spectroscopische methode wordt veel gebruikt om de spanning (rek) in silicium lokaal en niet-destructief te beoordelen?
  5. Welke methode wordt gebruikt om holtes in soldeerverbindingen in een behuizing en de vorm van draden driedimensionaal waar te nemen zonder de behuizing te vernietigen?

Vergelijkingen bij dit onderwerp