Metrologie en analyse
Wat is het gangbare verschil tussen 'metrologie' en 'inspectie' in een halfgeleiderproductielijn?
- AMetrologie meet waarden zoals afmetingen en laagdikte, inspectie zoekt afwijkingen zoals deeltjes en patroondefecten
- BMetrologie en inspectie betekenen precies hetzelfde
- CMetrologie gebeurt alleen met het menselijk oog, inspectie alleen met apparatuur
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Metrologie meet waarden zoals afmetingen en laagdikte, inspectie zoekt afwijkingen zoals deeltjes en patroondefecten
In een productielijn wordt onderscheid gemaakt tussen 'metrologie', waarbij waarden zoals lijnbreedte, laagdikte en overlay kwantitatief op vaste punten worden gemeten, en 'inspectie', waarbij afwijkingen zoals deeltjes en ontbrekende of verbonden patronen over een groot deel van de wafer worden opgespoord. Ook wordt samengewerkt door plekken die bij inspectie zijn gevonden gedetailleerd te onderzoeken met review-SEM of meetapparatuur. Beide dienen om de toestand van het proces snel te kennen en defecten te verminderen.