Hoe heet metrologie waarbij productwafers halverwege een proces in de productielijn worden gemeten om het proces te bewaken?

Antwoord: A. Inline-metrologie

Inline-metrologie is het meten van laagdikte, afmetingen, overlay, defecten enz. van productwafers halverwege het proces met in de productielijn opgenomen meetapparatuur. Afwijkingen worden vroeg gevonden zodat defecte producten niet naar volgende processen doorstromen, en de resultaten worden soms gebruikt om apparaatcondities te corrigeren. Er worden niet-destructieve methoden gebruikt die het product niet beschadigen. Het wordt onderscheiden van offline-metrologie, waarbij het monster buiten de lijn gedetailleerd wordt onderzocht, en van destructieve analyse waarbij het monster wordt vernietigd.