계측과 분석
제조 라인 안에서 제품 웨이퍼를 공정 중간에 계측하여 공정을 감시하는 계측을 무엇이라고 하는가?
- A인라인 계측
- B오프라인 계측
- C파괴 해석
정답과 해설 보기
정답: A. 인라인 계측
인라인 계측은 제조 라인에 조립된 계측 장비로 제품 웨이퍼의 막 두께, 치수, 중첩, 결함 등을 공정 중간에 측정하는 것입니다. 이상을 일찍 발견하여 불량품이 후속 공정으로 흘러가는 것을 막고, 결과를 장비 조건의 보정에 사용하기도 합니다. 제품을 손상시키지 않는 비파괴 방법이 사용됩니다. 라인 밖으로 가져가 자세히 조사하는 오프라인 계측이나, 시료를 파괴하는 파괴 해석과는 구별됩니다.