Wat wordt hoofdzakelijk gemeten met een atoomkrachtmicroscoop (AFM)?

Antwoord: C. Fijne ruwheid van het oppervlak (vorm en ruwheid)

Een AFM tast het oppervlak af met een bladveer (cantilever) met een scherpe naald en scant terwijl de doorbuiging door de atomaire kracht met de reflectie van een laser wordt gedetecteerd, zodat de oppervlaktereliëf wordt gemeten. In hoogterichting kunnen verschillen van ongeveer 0,1 nm worden gemeten, dus wordt het gebruikt voor de beoordeling van oppervlakteruwheid na CMP en van de oppervlaktetoestand van dunne films. In tapping mode, waarin de naald trilt en het oppervlak licht aanraakt, wordt het monster minder beschadigd. Laagweerstand en dopantverdeling worden met andere methoden gemeten.