Nederlands
Menu

Lithografie

Hoe heten de zwakke plekken in een ontworpen layout waarvan in de simulatie van belichting en bewerking wordt voorspeld dat patronen gemakkelijk samenvloeien of afbreken?

  1. AHotspots
  2. BNotches
  3. CDicing lines
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Hotspots

Hotspots zijn plekken in de layout waar patronen bij variaties in belichtingsdosis of focus gemakkelijk kortsluiten (bridging) of breken (pinching). Ook als aan de ontwerpregels wordt voldaan, kunnen ze ontstaan door de combinatie met omliggende patronen. Ze worden vooraf gevonden met lithografiesimulatie en patroonvergelijking (pattern matching) en aangepakt met layoutaanpassing, bijsturing van OPC en gerichte inspectie op de wafer.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Wat is de belangrijkste reden dat gas dat uit resist vrijkomt (outgassing) bij EUV-belichting als probleem is beschouwd?
  2. Welke methode verbetert, uitgaande van de resolutieformule R = k1 × λ / NA, de resolutie (maakt R kleiner)?
  3. Welke golflengte heeft het licht dat bij EUV-belichting wordt gebruikt?
  4. Welke omschrijving van positieve fotoresist is juist?
  5. Welke omschrijving van ArF-immersiebelichting is juist?

Vergelijkingen bij dit onderwerp