Wie heißen schwache Stellen des entworfenen Layouts, bei denen in der Belichtungs- und Bearbeitungssimulation vorhergesagt wird, dass Strukturen leicht zusammenwachsen oder abreißen?

Antwort: A. Hotspot

Hotspots sind Stellen im Layout, an denen Strukturen bei Schwankungen von Dosis und Fokus leicht kurzgeschlossen (Bridge) oder unterbrochen (Pinch) werden. Auch wenn die Entwurfsregeln eingehalten sind, können sie durch die Kombination mit umgebenden Strukturen entstehen. Sie werden vorab durch Lithografiesimulation oder Mustervergleich (Pattern Matching) gefunden und durch Layoutkorrektur, OPC-Anpassung und gezielte Inspektion am Wafer behandelt.