Nederlands
Menu

Lithografie

Welke rol heeft lithografie in de halfgeleiderproductie?

  1. AHet circuitpatroon met licht en dergelijke op de resist op de wafer overbrengen
  2. BDopeerstof in de wafer schieten
  3. CDe wafer dun slijpen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Het circuitpatroon met licht en dergelijke op de resist op de wafer overbrengen

Lithografie is het proces waarbij het op het masker getekende circuitpatroon met licht (belichting) wordt overgebracht op de op de wafer aangebrachte resist. Met het overgebrachte resistpatroon als masker worden etsen en ionenimplantatie uitgevoerd. Bij geavanceerde logica zijn er enkele tientallen lithografiestappen en de prijs van de apparatuur vormt een groot deel van de productiekosten; het is dus een van de belangrijkste processen die bepalen hoe schaalverkleining vordert.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Wat is de oorspronkelijke betekenis van het woord „lithografie (lithography)”?
  2. Welke omschrijving van fotoresist is juist?
  3. Welk bedrijf levert EUV-belichtingsapparatuur praktisch als enige?
  4. Welke golflengte heeft het licht dat bij KrF-excimerlaserbelichting wordt gebruikt?
  5. Wat is het belangrijkste doel van het behandelen van het waferoppervlak met HMDS en dergelijke vóór het aanbrengen van resist?

Vergelijkingen bij dit onderwerp