Lithografie

Wat is de oorspronkelijke betekenis van het woord „lithografie (lithography)”?

  1. AEen techniek om elektronen te tellen
  2. BEen druktechniek met een steenplaat
  3. CEen techniek om licht te buigen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Een druktechniek met een steenplaat

Lithografie is afgeleid van het Griekse lithos (steen) en graphein (schrijven) en betrof oorspronkelijk de in 1798 in Duitsland uitgevonden techniek om vanaf een steenplaat te drukken door gebruik van de afstoting tussen water en olie. Omdat het idee gemeenschappelijk is dat het patroon van een origineel op iets anders wordt overgenomen, wordt deze naam ook gebruikt voor patroonoverdracht in halfgeleiders; omdat licht wordt gebruikt, heet het ook fotolithografie.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Welke omschrijving van fotoresist is juist?
  2. Welk bedrijf levert EUV-belichtingsapparatuur praktisch als enige?
  3. Welke golflengte heeft het licht dat bij KrF-excimerlaserbelichting wordt gebruikt?
  4. Wat is het belangrijkste doel van het behandelen van het waferoppervlak met HMDS en dergelijke vóór het aanbrengen van resist?
  5. Wat is de juiste betekenis van de „half pitch”, die als maat voor schaalverkleining wordt gebruikt?

Vergelijkingen bij dit onderwerp