Lithografie

Welche Aufgabe hat die Lithografie in der Halbleiterfertigung?

  1. ADas Schaltungsmuster wird mit Licht o. Ä. auf den Resist auf dem Wafer übertragen
  2. BDotierstoffe werden in den Wafer implantiert
  3. CDer Wafer wird dünn geschliffen
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Antwort: A. Das Schaltungsmuster wird mit Licht o. Ä. auf den Resist auf dem Wafer übertragen

Die Lithografie ist der Prozess, in dem das auf der Maske gezeichnete Schaltungsmuster mit Licht (Belichtung) auf den auf den Wafer aufgetragenen Resist übertragen wird. Mit dem übertragenen Resistmuster als Maske werden Ätzen und Ionenimplantation durchgeführt. In fortgeschrittener Logik gibt es einige zehn Lithografieschritte, und da auch die Anlagenpreise einen großen Teil der Fertigungskosten ausmachen, ist sie einer der wichtigsten Prozesse, die den Fortschritt der Miniaturisierung bestimmen.

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