Lithografie

Welke patroonvormingstechniek maakt gebruik van de eigenschap van blokcopolymeren om vanzelf regelmatige fijne patronen te vormen?

  1. AOPC
  2. BDirected self-assembly (DSA)
  3. CAtomic layer etching
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Directed self-assembly (DSA)

Een blokcopolymeer is een materiaal waarin twee soorten polymeren met verschillende eigenschappen (bijvoorbeeld polystyreen en PMMA) aan elkaar zijn gekoppeld; doordat ze zich van elkaar willen scheiden, vormen ze vanzelf regelmatige strepen- of puntenpatronen van enkele nm tot enkele tientallen nm, bepaald door de moleculaire lengte. DSA is een techniek waarbij met een door lithografie gemaakt geleidend patroon de positie en richting van de rangschikking worden geregeld, zodat patronen fijner dan de resolutiegrens worden gemaakt. Het kan mogelijk goedkoop schaalverkleining bieden, maar weinig defecten is een uitdaging voor massaproductie.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Welke rol heeft lithografie in de halfgeleiderproductie?
  2. Wat is de oorspronkelijke betekenis van het woord „lithografie (lithography)”?
  3. Welke omschrijving van fotoresist is juist?
  4. Welk bedrijf levert EUV-belichtingsapparatuur praktisch als enige?
  5. Welke golflengte heeft het licht dat bij KrF-excimerlaserbelichting wordt gebruikt?

Vergelijkingen bij dit onderwerp