Lithografie
Welke patroonvormingstechniek maakt gebruik van de eigenschap van blokcopolymeren om vanzelf regelmatige fijne patronen te vormen?
- AOPC
- BDirected self-assembly (DSA)
- CAtomic layer etching
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Directed self-assembly (DSA)
Een blokcopolymeer is een materiaal waarin twee soorten polymeren met verschillende eigenschappen (bijvoorbeeld polystyreen en PMMA) aan elkaar zijn gekoppeld; doordat ze zich van elkaar willen scheiden, vormen ze vanzelf regelmatige strepen- of puntenpatronen van enkele nm tot enkele tientallen nm, bepaald door de moleculaire lengte. DSA is een techniek waarbij met een door lithografie gemaakt geleidend patroon de positie en richting van de rangschikking worden geregeld, zodat patronen fijner dan de resolutiegrens worden gemaakt. Het kan mogelijk goedkoop schaalverkleining bieden, maar weinig defecten is een uitdaging voor massaproductie.