Nederlands
Menu

Lithografie

Welk bedrijf levert EUV-belichtingsapparatuur praktisch als enige?

  1. AIntel (VS)
  2. BASML (Nederland)
  3. CTSMC (Taiwan)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. ASML (Nederland)

EUV-belichtingsapparatuur wordt praktisch door één bedrijf ontwikkeld en geleverd: het Nederlandse ASML. Het is een systeem dat technologie uit verschillende landen bundelt, zoals de multilayer-spiegels van het Duitse Zeiss en de lichtbron op tinbasis van het Amerikaanse Cymer; het bestaat uit meer dan 100.000 onderdelen en kost naar verluidt meer dan 20 miljard yen per stuk (High-NA ongeveer 50 miljard yen). Omdat de levering de productiecapaciteit van geavanceerde halfgeleiders bepaalt, valt het ook onder exportbeperkingen. TSMC en Intel kopen de apparatuur en gebruiken die.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Lithografie

  1. Welke golflengte heeft het licht dat bij KrF-excimerlaserbelichting wordt gebruikt?
  2. Wat is het belangrijkste doel van het behandelen van het waferoppervlak met HMDS en dergelijke vóór het aanbrengen van resist?
  3. Wat is de juiste betekenis van de „half pitch”, die als maat voor schaalverkleining wordt gebruikt?
  4. Hoe heet de markering die op de wafer wordt aangebracht om bij belichting het volgende patroon nauwkeurig over het in een voorgaande stap gemaakte patroon te leggen?
  5. Wat is de juiste betekenis van „CDU”, dat in lithografie wordt beheerd?

Vergelijkingen bij dit onderwerp