Lithographie
Quel est le rôle de la lithographie dans la fabrication des semi-conducteurs ?
- ATransférer les motifs de circuit, au moyen de la lumière notamment, sur la résine déposée sur le wafer
- BImplanter des impuretés dans le wafer
- CAmincir le wafer
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Réponse : A. Transférer les motifs de circuit, au moyen de la lumière notamment, sur la résine déposée sur le wafer
La lithographie est l'étape qui transfère les motifs de circuit dessinés sur un masque, au moyen de la lumière (exposition), sur la résine enduite sur le wafer. Le motif de résine ainsi transféré sert de masque pour la gravure ou l'implantation ionique. Les logiques avancées comptent plusieurs dizaines d'étapes de lithographie, et le prix des équipements représente une part importante du coût de fabrication ; c'est l'une des étapes les plus importantes, qui conditionne le rythme de la miniaturisation.