Het stabiliseren van de toestand van etsapparatuur door voor het product dummywafers te verwerken, omdat het procesresultaat varieert wanneer de toestand van de kamerwand verandert.
Japanse benaming: シーズニング
“Seasoning” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Etsen.
Vakgebied: Etsen
Antwoord: A. Seasoning
Op de binnenwand van etsapparatuur hechten reactieproducten, en afhankelijk van die toestand verandert onder meer het aandeel radicalen dat aan de wand verloren gaat, waardoor de plasmasamenstelling en het bewerkingsresultaat schommelen. Seasoning is het verwerken van dummywafers, bijvoorbeeld direct na reiniging of vervanging van onderdelen, om een bepaalde film op de binnenwand aan te brengen, de toestand op orde te brengen en het bewerkingsresultaat te stabiliseren. Tegenwoordig wordt ook gebruikt dat de wand vóór elke bewerking in dezelfde toestand wordt teruggebracht.
Seasoning is het verwerken van dummywafers, bijvoorbeeld direct na reiniging of vervanging van onderdelen, om een bepaalde film op de binnenwand aan te brengen, de toestand op orde te brengen en het bewerkingsresultaat te stabiliseren.
Hoe heet het verwerken van dummywafers vóór productwafers o…Numerieke apertuur (NA) ALE (atomic layer etching) Anisotroop etsen Antenne-effect ARDE (aspect-ratio-afhankelijk etsen) Ashing Aspectverhouding Droog etsen Eindpuntdetectie Gebufferd fluorwaterstofzuur (BHF)