CMP en reiniging
Welke uitspraak over het aantal reinigingsstappen in het hele productieproces van LSI's is juist?
- AZe worden slechts één keer aan het einde uitgevoerd
- BZe worden herhaaldelijk vóór en na veel processtappen uitgevoerd en zijn een van de stappen die het vaakst voorkomen
- CZe worden slechts één keer aan het begin uitgevoerd
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Ze worden herhaaldelijk vóór en na veel processtappen uitgevoerd en zijn een van de stappen die het vaakst voorkomen
Reiniging wordt herhaaldelijk vóór en na depositie, etsen, ionenimplantatie, CMP, ashing enz. uitgevoerd en bedraagt bij geavanceerde LSI's meer dan 200 stappen, naar verluidt 20 tot 30% van alle processtappen. Het is qua aantal stappen een van de grootste groepen, en het verbruik van chemicaliën en ultrazuiver water is groot, zodat het een basisproces is dat zowel de yield als de kosten sterk beïnvloedt.