Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Einrichtung behandelt bei Vakuumprozessanlagen die bei der Reaktion entstehenden, schädliche Stoffe enthaltenden Abgase anlagenweise?

  1. AAbgasbehandlungsanlage (lokaler Scrubber)
  2. BFFU
  3. CEFEM
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Antwort: A. Abgasbehandlungsanlage (lokaler Scrubber)

Die Abgase von Abscheide- und Ätzanlagen enthalten nicht umgesetzte Spezialgase und schädliche Nebenprodukte. Die Abgasbehandlungsanlage macht diese direkt an der Anlage durch Verbrennung, thermische Zersetzung, Plasmazersetzung, Adsorption, Wäsche mit Wasser o. Ä. unschädlich, bevor sie in das Abluftsystem der Fabrik geleitet werden. Durch die frühzeitige Behandlung entzündlicher Gase und in Rohrleitungen verfestigender Produkte werden auch Brände und Verstopfungen in den Kanälen verhindert. FFU und EFEM dienen der Luftreinigung und dem Transport.

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