Cleanroom en productieapparatuur
Welk element, afgegeven door onder meer glasvezelfilters, kan ongewenste doping (verontreiniging) van wafers veroorzaken?
- ABoor (boron)
- BGoud
- CIJzer
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Boor (boron)
Sommige HEPA-filters van glasvezel gebruiken borosilicaatglas, dat met onder meer dampen van fluorwaterstofzuur kan reageren en boorhoudende gassen kan afgeven. Hechten deze aan het waferoppervlak, dan veroorzaken ze als p-type onzuiverheid ongewenste doping en verschuiven de eigenschappen. Daarom worden filters met een laag-boor-filtermedium en chemische filters gebruikt. Goud en ijzer zijn metaalverontreinigingen die diepe niveaus vormen en zijn niet de typische filterafkomstige verontreinigingen.