Cleanroom en productieapparatuur
Hoe wordt in een cleanroom volgens de bay-chase-methode de reinheid van de onderhoudsruimte (chase) achter de apparatuur gewoonlijk behandeld?
- AHij wordt met de hoogste reinheid in de fabriek beheerd
- BHij krijgt dezelfde omgeving als buiten
- CHij wordt vaak op een lagere reinheid beheerd dan het werkgebied waar wafers worden behandeld (bay)
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Hij wordt vaak op een lagere reinheid beheerd dan het werkgebied waar wafers worden behandeld (bay)
Bij de bay-chase-methode wordt het werkgebied waar wafers worden behandeld (bay) op een hoge reinheid gehouden en wordt de onderhoudsruimte achter de apparatuur (chase) vaak op een lagere reinheid beheerd. Door de apparatuur als het ware in de wand in te bouwen en alleen het bedieningsvlak aan de baykant te laten uitkomen, wordt voorkomen dat deeltjes van onderhoudswerk in de bay komen. Door de reinheid in zones te verdelen, kunnen bouw- en bedrijfskosten worden beperkt.