Geavanceerde technologieën (3D-integratie, chiplets)
Welke methode, ingedeeld naar het moment waarop de TSV wordt gevormd, maakt de TSV nadat de transistoren zijn gevormd maar vóór de multilaag-metallisatie?
- AVia-first
- BVia-middle
- CVia-last
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Via-middle
TSV's worden naar het moment van vorming ingedeeld in via-first (vóór de transistoren), via-middle (na de transistoren en vóór de multilaag-metallisatie) en via-last (na de bedrading of vanaf de achterzijde na het dunnen van de wafer). Via-middle wordt veel gebruikt omdat de koperen TSV aan de hoge-temperatuurstappen van de transistoren rond 1000 ℃ wordt onttrokken en toch gemakkelijk met de bedrading kan worden verbonden.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde technologieën (3D-integratie, chiplets)