Geavanceerde technologieën (3D-integratie, chiplets)
Welke eis wordt bij hybrid bonding aan de te verbinden vlakken gesteld?
- AEen ruw oppervlak
- BEen zeer hoge vlakheid op nanometerniveau en zuiverheid
- CEen dikke oliefilm op het oppervlak
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Een zeer hoge vlakheid op nanometerniveau en zuiverheid
Bij hybrid bonding worden de vlakken met koperelektroden en isolatiefilm zonder bumps rechtstreeks gebonden, zodat de oneffenheden van het bondoppervlak op nanometerniveau of kleiner moeten zijn en geen deeltjes of verontreinigingen aanwezig mogen zijn. Zelfs één deeltje van circa 100 nm kan rondom zich een niet-gebonden holte (void) met een diameter van enkele mm veroorzaken. CMP- en reinigingstechnieken en een omgeving met hoge zuiverheid zijn daarom belangrijk. Ruwe oppervlakken en oliefilms belemmeren de binding.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde technologieën (3D-integratie, chiplets)