실리콘 웨이퍼

실리콘 웨이퍼의 저항률과 첨가한 불순물 농도의 관계로 올바른 것은?

  1. A불순물 농도가 높을수록 저항률은 높아진다
  2. B불순물 농도와 저항률은 무관하다
  3. C불순물 농도가 높을수록 저항률은 낮아진다
정답과 해설 보기

정답: C. 불순물 농도가 높을수록 저항률은 낮아진다

불순물을 많이 첨가하면 캐리어가 늘어나 저항률이 낮아지며, 이 관계 때문에 웨이퍼의 저항률은 불순물 농도의 지표로 사양에 지정됩니다. 예를 들어 p형으로 1~10 Ω·cm이면 붕소는 약 10¹⁵ cm⁻³대, 0.01 Ω·cm이면 약 10¹⁹ cm⁻³입니다. 농도가 높아지면 이온화 불순물 산란으로 이동도가 떨어지므로 단순한 반비례가 되지 않으며, ASTM 등의 환산표를 사용해 변환합니다.

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