실리콘 웨이퍼

단결정 잉곳에서 웨이퍼를 만드는 공정의 순서로 가장 적절한 것은?

  1. A슬라이스 → 래핑(연삭) → 식각 → 경면 연마
  2. B경면 연마 → 슬라이스 → 식각 → 래핑
  3. C식각 → 경면 연마 → 슬라이스 → 래핑
정답과 해설 보기

정답: A. 슬라이스 → 래핑(연삭) → 식각 → 경면 연마

잉곳의 외주를 연삭하여 직경을 맞추고 노치를 가공한 뒤, 멀티 와이어 소로 1 mm 미만 두께로 잘라냅니다(슬라이스). 모따기를 한 후 래핑이나 연삭으로 두께와 평탄도를 맞추고, 가공에서 생긴 수십 µm의 손상층을 식각으로 제거하며, 마지막으로 양면 연마와 마무리 연마로 원자 수준에 가까운 경면으로 마감합니다. 이후 세정과 검사를 거쳐 청정한 용기(FOUP)에 담아 출하됩니다.

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