실리콘 웨이퍼
CZ법과 FZ법에 의한 단결정 제조, 웨이퍼 직경 등 실리콘 웨이퍼의 기초를 객관식 문제로 확인합니다.
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실리콘 웨이퍼: 핵심 정리
대부분의 반도체 소자는 고순도 단결정 실리콘을 얇게 자른 웨이퍼 위에 만들어집니다. 단결정은 도가니에서 녹인 실리콘으로부터 결정을 끌어올리는 CZ법, 또는 도가니를 쓰지 않는 FZ법으로 성장시킵니다.
성장한 결정은 슬라이싱, 연마, 세정을 거쳐 웨이퍼가 됩니다. 웨이퍼 직경은 계속 커져 왔으며, 현재 최첨단 생산 라인에서는 300 mm 웨이퍼가 표준입니다.