サーマルドナー란?

さーまるどなー

CZシリコンを450℃付近で熱処理したとき、酸素原子が集まってドナーとして働くもの。ウエハの抵抗率を変えてしまうため、高温の処理で消去する。

일본어 명칭: サーマルドナー

분야: 실리콘 웨이퍼