OPC(光学近接効果補正)란?

おーぴーしー

光の回折などでパターンがゆがむのを見越して、マスクのパターンをあらかじめ補正しておく技術。

일본어 명칭: OPC(光学近接効果補正)

OPC(光学近接効果補正)은(는) IC 설계 흐름과 EDA 등 1개 분야의 연습 문제 2개에 나와요.

분야: 포토리소그래피

도전해 보기: OPC(光学近接効果補正) 관련 문제

SystemVerilog를 사용한 검증에서 재사용하기 쉬운 테스트 환경(테스트벤치)을 구성하기 위한 표준 방법론은 무엇인가?

  1. AOPC
  2. BCMP
  3. CUVM(Universal Verification Methodology)
정답과 해설 보기

정답: C. UVM(Universal Verification Methodology)

UVM은 SystemVerilog로 테스트벤치를 부품(입력을 주는 드라이버, 출력을 감시하는 모니터, 기댓값과 비교하는 스코어보드 등)의 조합으로 구성하기 위한 표준 방법론이자 클래스 라이브러리입니다. 부품을 다른 설계의 검증에도 재사용할 수 있고, 제약 조건 기반 랜덤 입력 생성이나 커버리지 수집을 쉽게 포함할 수 있습니다. IEEE 1800.2로 표준화되어 있습니다. OPC와 CMP는 제조 기술입니다.

레이아웃 검증에서 입력 단자가 플로팅(어디에도 연결되지 않은 상태)되어 있지 않은지, 전원끼리 단락되지 않았는지 등 전기적 연결 오류를 조사하는 검사는 무엇인가?

  1. AERC(전기적 룰 체크)
  2. BDRC
  3. COPC
정답과 해설 보기

정답: A. ERC(전기적 룰 체크)

ERC(Electrical Rule Check)는 회로의 전기적 연결에 관한 규칙 위반, 예를 들어 입력 플로팅, 출력끼리의 충돌, 서로 다른 전원의 단락, 웰 전위의 미연결 등을 검출합니다. 플로팅 입력은 전위가 정해지지 않아 관통 전류나 누설의 원인이 됩니다. 도형 치수 규칙을 조사하는 DRC, 회로도와의 일치를 조사하는 LVS와 함께 사인오프에서 수행합니다. OPC는 노광 보정이며 검증이 아닙니다.

해설 속 OPC(光学近接効果補正)

OPC(光学近接効果補正)이(가) 나오는 문제 (2)

  1. SystemVerilog를 사용한 검증에서 재사용하기 쉬운 테스트 환경(테스트벤치)을 구성하기 위한 표준 방법론은 무엇인가?
  2. 레이아웃 검증에서 입력 단자가 플로팅(어디에도 연결되지 않은 상태)되어 있지 않은지, 전원끼리 단락되지 않았는지 등 전기적 연결 오류를 조사하는 검사는 무엇인가?

관련 용어

SystemVerilog CMP DRC(デザインルールチェック) LVS 開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 液浸露光 位相シフトマスク 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト

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