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OPC(광 근접 효과 보정)에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A레지스트를 두껍게 도포하여 해상도를 높인다
- B마스크를 세정하여 이물질을 제거한다
- C마스크 패턴을 미리 보정해 두어 전사 후의 형상 어긋남을 줄인다
정답과 해설 보기
정답: C. 마스크 패턴을 미리 보정해 두어 전사 후의 형상 어긋남을 줄인다
해상 한계에 가까운 패턴에서는 빛의 회절과 간섭 때문에 선의 끝이 줄어들거나(라인 엔드 후퇴), 모서리가 둥글어지거나, 주변 패턴의 밀도에 따라 선폭이 달라지기도 합니다. OPC에서는 이 변형을 시뮬레이션으로 예측하여, 마스크 패턴의 끝에 해머헤드나 세리프 같은 보조 도형을 추가하거나 치수를 세밀하게 조정합니다. 첨단 마스크에서는 OPC 계산에 대규모 컴퓨터가 사용됩니다.