Qu'est-ce que Plaquette moniteur ?

Plaquette passée dans le procédé indépendamment des produits pour vérifier l'état des équipements ou mesurer épaisseurs et particules. Aussi appelée plaquette de test. Après usage, elle est souvent décapée, repolie et réutilisée comme plaquette recyclée.

Nom japonais: モニターウエハ