Was ist Monitorwafer?

Wafer, der getrennt von den Produkten durch einen Prozess läuft, um Anlagen zu prüfen oder Schichtdicke und Partikel zu messen. Auch Testwafer genannt; er wird oft abgelöst, neu poliert und als aufbereiteter Wafer (Reclaim) wiederverwendet.

Japanische Bezeichnung: モニターウエハ

Fachgebiet: Siliziumwafer

Verwandte Begriffe

Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) Kristallorientierung MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD) Segregationskoeffizient

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