Wafer die los van productwafers door het proces wordt gestuurd om de toestand van de apparatuur te controleren en om filmdikte, deeltjes en dergelijke te meten. Ook testwafer genoemd. Na gebruik wordt de film verwijderd en wordt de wafer opnieuw gepolijst, waarna hij vaak als gerecyclede wafer wordt hergebruikt.
Japanse benaming: モニターウエハ
“Monitorwafer” komt voor in 2 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Siliciumwafers.
Vakgebied: Siliciumwafers
Antwoord: B. Reclaimwafer
Monitorwafers en dummywafers worden in fabrieken in grote aantallen gebruikt; na gebruik worden de lagen en verontreiniging aan het oppervlak met etsen en polijsten verwijderd en wordt het oppervlak weer tot een spiegel afgewerkt en hergebruikt. Dit is een reclaimwafer, die goedkoper is dan een nieuwe en ook grondstoffen bespaart. Eén wafer kan enkele keren worden gereclaimd en wordt daarbij telkens iets dunner. Er zijn ook bedrijven die zich hierin specialiseren; het is voor de kwaliteit essentieel metaalverontreiniging betrouwbaar te verwijderen.
Een monitorwafer is een wafer die los van productwafers wordt gebruikt om onder meer de laagdikte van afzettingen, het aantal deeltjes, de etssnelheid en verontreiniging te controleren, en waarmee de toestand van apparatuur bij ingebruikname en periodiek onderhoud wordt gecontroleerd.
Hoe heet een wafer die los van productwafers door het proce…Numerieke apertuur (NA) Czochralski-methode (CZ-methode) DZ (denuded zone) Floating-zonemethode (FZ-methode) Gettering Ingot Kristaloriëntatie MCZ-methode (magnetic Czochralski) Necking Segregatiecoëfficiënt