Wie heißen periodische, streifenförmige Änderungen der Dotierstoff- oder Sauerstoffkonzentration in CZ-Kristallen, die z. B. durch Temperaturschwankungen an der Wachstumsgrenzfläche entstehen?

Antwort: A. Striations (Wachstumsstreifen)

Wird der Kristall unter Drehen gezogen, ändern sich durch Konvektion der Schmelze und Temperaturschwankungen Wachstumsgeschwindigkeit und Einbau von Verunreinigungen an der Wachstumsgrenzfläche periodisch. Dadurch entstehen Striations, in denen sich Dotierstoff- und Sauerstoffkonzentration streifenförmig ändern, die eine Ursache winziger Schwankungen des spezifischen Widerstands sind. In der Waferebene erscheinen sie als konzentrisches Muster wie Jahresringe und lassen sich durch Unterdrückung der Konvektion mit dem MCZ-Verfahren verringern.