Hoe heet de periodieke strookvormige verandering van de concentratie van dopanten of zuurstof in CZ-kristal, veroorzaakt door onder meer temperatuurschommelingen aan het groeigrensvlak van het kristal?

Antwoord: A. Striatie (groeistrepen)

Wanneer het kristal onder rotatie wordt getrokken, veranderen door convectie van de smelt en temperatuurschommelingen de groeisnelheid aan het groeigrensvlak en de hoeveelheid opgenomen onzuiverheden periodiek. Daardoor ontstaan striaties, waarbij de concentratie van dopanten en zuurstof strookvormig varieert en die kleine variaties in de soortelijke weerstand veroorzaken. Ze verschijnen in het waferoppervlak als concentrische patronen zoals jaarringen en kunnen worden verminderd door convectie met de MCZ-methode te onderdrukken.