Hoe heet een wafer die los van productwafers door het proces wordt gestuurd om onder meer de toestand van apparatuur te controleren en laagdiktes te meten?

Antwoord: C. Monitorwafer (testwafer)

Een monitorwafer is een wafer die los van productwafers wordt gebruikt om onder meer de laagdikte van afzettingen, het aantal deeltjes, de etssnelheid en verontreiniging te controleren, en waarmee de toestand van apparatuur bij ingebruikname en periodiek onderhoud wordt gecontroleerd. Hij maakt het mogelijk items te controleren die op productwafers niet rechtstreeks kunnen worden gemeten, maar bij grote aantallen lopen de kosten op; daarom wordt het oppervlak na gebruik gepolijst en wordt de wafer herhaaldelijk als reclaimwafer gebruikt. Er wordt ook gewerkt aan het inbouwen van meetfuncties in de apparatuur om monitorwafers te verminderen.