실리콘 웨이퍼
장치 상태 확인이나 막 두께 측정 등을 위해 제품과 별도로 공정에 흘려보내는 웨이퍼를 무엇이라 부르는가?
- ASOI 웨이퍼
- B에피택셜 웨이퍼
- C모니터 웨이퍼(테스트 웨이퍼)
정답과 해설 보기
정답: C. 모니터 웨이퍼(테스트 웨이퍼)
모니터 웨이퍼는 성막의 막 두께, 파티클 수, 식각 속도, 오염 등을 확인하기 위해 제품과 별도로 흘려보내는 웨이퍼로, 장치 가동 시작이나 정기 점검 때 상태를 점검합니다. 제품 웨이퍼로 직접 측정할 수 없는 항목을 확인할 수 있지만 대량으로 쓰면 비용이 늘어나므로, 사용 후에는 표면을 연마하여 재생 웨이퍼로 반복해서 사용합니다. 측정 기능을 장치에 내장하여 모니터 웨이퍼를 줄이는 노력도 진행되고 있습니다.