Wie heißen Wafer, die zur Anlagenzustandsprüfung oder Schichtdickenmessung getrennt von Produkten durch den Prozess geschickt werden?

Antwort: C. Monitor-Wafer (Testwafer)

Monitor-Wafer werden getrennt von Produkten durchgeschleust, um Schichtdicke der Abscheidung, Partikelzahl, Ätzrate und Kontamination zu prüfen, und dienen bei Inbetriebnahme und regelmäßiger Wartung der Anlagen zur Zustandsprüfung. Sie erlauben die Prüfung von Größen, die sich an Produktwafern nicht direkt messen lassen, sind bei großem Verbrauch aber kostspielig; nach Gebrauch wird die Oberfläche poliert, und sie werden wiederholt als aufbereitete Wafer verwendet. Es wird auch daran gearbeitet, Messfunktionen in die Anlagen zu integrieren und Monitor-Wafer zu reduzieren.