Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welches Gas, das zu den in Halbleiterfabriken am meisten verbrauchten gehört, wird per Leitung als Spül- und Schutzgas zugeführt?

  1. APhosphin
  2. BStickstoff (N2)
  3. CStickstofftrifluorid (NF3)
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Antwort: B. Stickstoff (N2)

Stickstoff ist inert und preiswert und wird in großen Mengen zum Spülen von Anlagen und Leitungen, zum Austausch der Atmosphäre in FOUPs und Anlagen sowie zum Schutz von Vakuumpumpen verwendet. Große Fabriken stellen Luftzerlegungsanlagen auf dem Gelände oder daneben auf und versorgen per Leitung. Wegen der großen Mengen besteht bei Lecks in engen Räumen die Gefahr von Sauerstoffmangel, wenn die Sauerstoffkonzentration unter 18 % sinkt. Phosphin und NF3 sind Spezialgase, die nur in bestimmten Prozessen verwendet werden.

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