공정 재료(가스와 케미칼)
반도체 공장에서 가장 대량으로 쓰이는 가스 중 하나로, 퍼지나 분위기 가스로 배관을 통해 공급되는 것은 무엇입니까?
- A포스핀
- B질소(N2)
- C삼불화질소(NF3)
정답과 해설 보기
정답: B. 질소(N2)
질소는 불활성이고 저렴하여, 장치와 배관의 퍼지, FOUP과 장치 내 분위기의 치환, 진공 펌프의 보호 등에 대량으로 쓰입니다. 대규모 공장에서는 공기 분리 장치를 부지 내나 인접지에 두고 배관으로 공급합니다. 대량으로 쓰기 때문에 좁은 장소에 누출되면 산소 농도가 18% 미만으로 떨어져 산소 결핍증의 위험이 있습니다. 포스핀이나 NF3는 특정 공정에서만 쓰는 특수 재료 가스입니다.